Skip to Content

ГАЗОВЫЕ СИСТЕМЫ

В современном технологическом оборудовании, предназначенном для ростовых процессов, плазмохимии, нанесения и обработки тонких пленок, исследовательском оборудовании во многих случаях в качестве технологической среды используются различные газовые смеси. При этом предъявляются очень высокие требования по чистоте рабочих газов и их безопасного хранения, использования. Для этих выполнения этих целей часто используются специализированные газовые cистемы. Для безопасного хранения и использования рабочих газов мы рады предложить следующие шкафы.

ГАЗОБАЛЛОННЫЕ ШКАФЫ типа ШГБ-2

 

Шкафы ШГБ-2, выпускаемые в г. Зеленоград, рассчитаны на два независимых или взаимодействующих канала подачи газов (чистых и особочистых, нейтральных и токсичных, агрессивных, взрыво- и пожароопасных, и т.д.). Каждый газовый канал у работающего шкафа имеет газовый баллон (в комплект поставки шкафа ШГБ-2 не входит) и газовую панель для редуцирования давления газа и подачи газа в магистраль.
В верхней крышке газобаллонного шкафа предусмотрен фланец для подключения вытяжной вентиляции.
Шкаф может быть укомплектован газосигнализатором и датчиком вытяжной вентиляции. Возможно изготовление газобаллонных шкафов на заказ по спецификации Заказчика.

Доступна детализированная информация...

ГАЗОБАЛЛОННЫЕ ШКАФЫ УНИВЕРСАЛЬНЫЕ

 

Газобаллонные шкафы предназначены для размещения одного или двух стандартных баллонов (максимум 2 баллона по 40 литров) и подачи газов (в том числе особочистых) к технологическому оборудованию.
Газобаллонные шкафы выпускаются в двух модификациях:
для неопасных/химически-инертных газов (азот, аргон, гелий и т.п.) с простой газовой схемой, содержащей фильтр частиц (5 , 10, 40 или 90 мкм), отсечной вентиль, регулятор давления и порт для проверки герметичности разъемных соединений
для сверхчистых или токсичных/опасных газов (арсин, силан и т.п.). Данные газобаллонные шкафы комплектуются газовой панелью, которая содержит фильтр частиц (0.5, 2, 5 , 10, 40 или 90 мкм) отсечной вентиль, регулятор давления, порт для проверки герметичности разъемных соединений, линию продувки инертным газом с обратными клапанами и эжекторным насосом для удаления газа из магистралей перед заменой баллона и воздуха после замены баллона (перед пуском рабочего газа).
В верхней крышке газобаллонного шкафа предусмотрен фланец диаметром 100…120 мм для подключения вытяжной вентиляции.
Шкаф может быть укомплектован газосигнализатором и датчиком вытяжной вентиляции. Возможно изготовление газобаллонных шкафов на заказ по спецификации Заказчика.

Доступна детализированная информация...